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電感耦合等離子體 (inductively coupled plasma) 簡稱ICP。
TY-9900型ICP直讀光譜儀工作原理：是多元素順序測量的分析測試儀器，該儀器由射頻發(fā)生器、試樣引入系統(tǒng)、掃描分光器、光電轉(zhuǎn)換、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)和分析操作軟件組成。射頻發(fā)生器的高頻功率通過感應(yīng)工作線圈加到三同心石英炬管上，在石英炬管的外層通入氬氣并引入點(diǎn)火花使之產(chǎn)生電離形成的氣溶膠進(jìn)入石英炬管中心通道，受到高溫的激發(fā)后，以光的形式放出特征譜線，通過透鏡射到分光器中的光柵上，份光后的待測元素特征譜線光強(qiáng)通過計(jì)算由步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)光柵傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，準(zhǔn)確定位于出口狹縫處，光電倍增管將該譜線光強(qiáng)度轉(zhuǎn)變成光電流，在經(jīng)電路處理和V/F變換后，進(jìn)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，zui后由打印機(jī)打出分析結(jié)果。
射頻發(fā)生器 ：
1.電路類型：電感反饋式自激振蕩電路，同軸電纜輸出，匹配調(diào)諧，取功率反饋進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)控制。 2.工作頻率：40MHz
3.頻率穩(wěn)定性：＜0.1%
4.輸出功率：800W—1200W
5.輸出功率穩(wěn)定性：＜0.2%
6.電磁場泄漏輻射強(qiáng)度：距機(jī)箱30cm處 電場強(qiáng)度E：＜2V/m 磁場強(qiáng)度H：＜射0.2A/m
7.電源：交流220V 25A
掃描分光器 ：
1.光路： Czerny Turner型
2.焦距： 750mm
3.光柵規(guī)格： 離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm或2400線/mm，刻線面積（80×110）mm
4.分辨率： ≤ 0.008nm
5.掃描波長范圍：
3600線/mm掃描波長范圍：195—500 nm
2400線/mm掃描波長范圍：195—800 nm
6.進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)zui小步距: ≤0.0006 nm
7.反射鏡規(guī)格： （78×105×16）mm
8.透鏡φ30，1：1成像
9.相對孔徑：f/7(750) f/9(1000)
10.機(jī)械準(zhǔn)確性：±0.001nm
11.色散率：3600線/mm 0.266nm/mm
2400線/mm 0.4nm/mm
電子測量及控制電路：
1.光電倍增管規(guī)格：R212UH，R928
2.光電倍增管負(fù)高壓：（200-1000）V，穩(wěn)定性＜0.05%
3.光電倍增管電流測量范圍： 10的-12次方到10的-4次方A.
4.信號采集為V/F變換，1mV對應(yīng)100Hz